余杭降生“纳米神笔”！首台国产电子束光刻机“羲之”0.6纳米精度并列国外

8月13日，坐落于余杭区的浙江大学学友企业总部经济园传出佳音，杭州城西科创大走廊浙大恶果转动基地首批签约孵化的名目之一，首台国产买卖化电子束光刻机已在客户现场插足讹诈测试，其精度并列国外主流成立，记号着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

在中国科技大学，浙大量子接洽院干系团队正在对一台口头神似大型钢柜的机器进行弥留测试，电子泄露屏上握住耀眼真及时参数。“这不是庸碌的机器，而是一支能在头发丝上雕镂出整座城市舆图的‘纳米神笔’。”团队负责东说念主说，依托省要点执行室，接洽院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已细致走向市集。

据悉，该光刻机取名“羲之”，是因其精密“书写”智商与书道家王羲之的羊毫神韵相契合。“只不外咱们的‘羊毫’是电子束，在芯片上刻写电路。” 研发团队干系负责东说念主先容，这台成立专攻量子芯片、新式半导体研发的中枢步伐，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线宽8纳米，可机动修改预备图案，无需传统光刻所需的掩膜版，如同用纳米级羊毫在芯片上精确作画。“芯片研发初期会预备许多版型、图案，不竭需要一条线一条线进行修改，电子束光刻机精度高、‘书写’简单，极大升迁了芯片研发初期反复调试的效劳。”研发团队干系负责东说念主说，“羲之”的落地具有破局意旨。此前，此类成立受国出门口料理，国内顶尖科研机构和企业永恒无法采购，“羲之”的落地透顶冲破这一困局，现在已与多家科研机构伸开究诘。

“羲之”光刻机在余杭得胜降生并非孤例，背后是科技蜕变与产业蜕变“两新和会”的强力启动。本年7月，省级栽植科技东说念主才一体纠正专项试点名目落地于余杭的浙江大学学友企业总部经济园，浙江大学、学友总部经济园和余杭共同联手搭建恶果转动高速路，园区企业开出“本事需求清单”，浙大证明带接洽生组队“揭榜”，所在政府从执行室样品到量产家具，全历程陪跑。

研发团队干系负责东说念主暗意，“羲之”电子束光刻机的得胜讹诈测试，是我国高端半导体中枢装备国产化的紧要突破，这把自主可控的“中国刻刀”，将为加快国产高端芯片的研发进度、霸占改日科技制高点提供坚实的装备基础。